ElektronikindustrieDie Elektronikindustrie ist eine der Branchen mit hohen Wachstumsraten und relativ kurzen Innovationszyklen. Durch die dramatisch wachsende Integrationsdichte und die immer kleiner werdenden Strukturbreiten integrierter Schaltungen ergeben sich bei deren Herstellung ständig höhere Anforderungen an die Reinheit der verwendeten Materialien.
Mit ständiger Produktentwicklung trägt Linde diesen steigenden Ansprüchen in der Mikroelektronik Rechnung und ist somit in der Lage, auch höchsten Anforderungen gerecht zu werden. Durch die Lieferung von Gasen höchster Reinheit bis zum "point of use" unterstützen wir unsere Kunden bei der Optimierung ihrer Prozesse.
Außer in der Mikroelektronik werden Elektronikgase auch in anderen Bereichen der Hochtechnologie eingesetzt, wie z.B. in der Lichtwellenleiterproduktion, in der Oberflächenbeschichtung von Werkstoffen z.B. Gläsern oder in der Sensor- und Solarzellenherstellung
Elektronikindustrie - Beispiele für Gasgemische in der Elektronikindustrie
Produktbezeichnung
Zusammensetzung |
Farbe
Flaschenschulter
Ventilanschluss nach DIN 477 |
Flaschengrösse Rauminhalt Liter |
Füllmenge m³ |
Anwendung |
15% Arsin
Rest Wasserstoff |
Gelb
W 21,80 x 1/14 LH |
0,38 |
19 l |
Ionenimplantation |
15% Phosphin
Rest Wasserstoff |
Gelb
W 21,80 x 1/14 LH |
0,38 |
19l |
Ionenimplantation |
0,4 ppm Phosphin
Rest Stickstoff |
Leuchtendes Grün
M 19 x 1,5 LH |
10 |
1,5 |
Kalibrierung von MAK-Sensoren |
4 - 15% Sauerstoff
in Tetrafluormethan |
Leuchtendes Grün
M 19 x 1,5 LH |
50 |
5,5 |
Plasmaätzen von Silicium |
| 20-100 vpm Phosphin in Wasserstoff |
Rot
W 21,80 x 1/14 LH |
40 |
6 |
Dotierung |
| 1-2% Silan in He, N2 oder H2 |
Rot
W 21,80 x 1/14 LH |
50 |
7,5 |
Abscheidung von Silicium |
| 1-2% German in H2 |
Rot
W 21,80 x 1/14 LH |
50 |
7,5 |
Abscheidung von Si-Ge-Schichten |
KontaktChristian Leibetseder, Dipl.Ing. (FH) / Technischer Verkauf, Fachbereich Spezialgase
4651 Stadl-Paura, Waschenbergerstraße 13
Telefon +43.(0)664.80.4273-1438, Fax +43.(0)50.4273-701438
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