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 Herstellung
 Behälter
 Füllung
 Qualität


Chlorwasserstoff 5.5

  

Reinheit, %:

> 99,9995
  
  
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Nebenbestandteile Chlorwasserstoff 5.5, ppm:
H2O1
O20,5
N21
CO0,5
CO21
KW0,5
Fe0,1*


Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen


Empfohlene Armaturen:
auf Anfrage

Lieferarten Chlorwasserstoff 5.5



Rauminhalt, Liter

Dampfdruck bei 20°C, bar 

Füllmenge, kg
 
Stahlflasche 2   42,6 
Stahlflasche 10   42,6 
Edelstahlflasche 40   42,6  28** 
Stahlflasche 50   42,6  36 

Lieferhinweise:

* Massenanteile
** Edelstahlflasche


Umrechnungszahlen Chlorwasserstoff
m³ Gas
(15 °C, 1 bar)
Liter
flüssig bei Ts
kg
11,291,536
0,77511,191
0,6510,841



Kennzeichnung Chlorwasserstoff 5.5
Flaschenschulter: Gelb RAL 1018
Aufkleber: Chlorwasserstoff 5.5
Ventilanschluss:
1 nach DIN 477 Nr. 8


Eigenschaften Chlorwasserstoff
Unter Druck verflüssigtes Gas, ätzend, giftig

 ätzend giftig 
MAK-Wert:5 ppm
Chemisches Zeichen:HCl
Molare Masse:

36.461 g/mol

Kritische Temperatur:324.69 K (51.54 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts):188.12 K (-85.03 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar): 1.270

Anwendungen Chlorwasserstoff 5.5
  • Trockenätzen von Halbleitermaterialien (z.B. Plasmaätzen von Al, GaAs)
  • Reaktives Gas bei der Oxidation von Silicium
  • Reinigen von Reaktoren

  
Andere Lieferformen Chlorwasserstoff
 Chlorwasserstoff 5.0 Chlorwasserstoff 4.5
 Chlorwasserstoff 2.8


Gemische von Chlorwasserstoff mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen, z.B. für Excimer-Laser.



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Kontakt

Christian Leibetseder, Dipl.Ing. (FH) / Technischer Verkauf, Fachbereich Spezialgase
4651 Stadl-Paura, Waschenbergerstraße 13
Telefon +43.(0)664.80.4273-1438, Fax +43.(0)50.4273-701438
Mail Mail

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