Phosphin 5.0     Reinheit, %: > 99,999         Download: Produktdatenblatt Download Sicherheitsdatenblatt Download     Angebot:  Angebot anfordern     Nebenbestandteile Phosphin 5.0, ppm: H2O 1 O2 1 N2 3 CO 1 CO2 1 KW 2 AsH3 2 Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen Empfohlene Armaturen: auf Anfrage Lieferarten Phosphin 5.0 Rauminhalt, Liter Dampfdruck bei 20°C, bar  Füllmenge, kg   Stahlflasche 2   34,6  0,3  Stahlflasche 10   34,6  1  Umrechnungszahlen Phosphin m³ Gas (15 °C, 1 bar) Liter flüssig bei Ts kg 1 1,935 1,432 0,517 1 0,74 0,698 1,351 1 Kennzeichnung Phosphin 5.0 Flaschenschulter: Gelb RAL 1018 Aufkleber: Phosphin 5.0 Ventilanschluss: W 21,80 x 1/14 LH nach DIN 477 Nr. 1 Eigenschaften Phosphin Unter Druck verflüssigtes Gas, hochentzündlich, umweltgefährlich, ätzend, sehr giftig, selbstentzündlich an der Luft        MAK-Wert: 0.1 ppm Chemisches Zeichen: PH3 Molare Masse: 33.998 g/mol Kritische Temperatur: 325.05 K (51.9 °C) Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): 185.4 K (-87.77 °C) Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar): 1.180 Anwendungen Phosphin 5.0 Dotierung von Silicium durch Epitaxie, Diffusion oder Ionenimplantation. Dazu werden bervorzugt Gemische mit H2, Ar, He oder N2 verwendet (Dotiergasgemische) Dotierung von Si und SiO2 während der Abscheidung (CVD) Herstellung von GaP, GaAsP oder InP Halbleitern Andere Lieferformen Phosphin Gemische von Phosphin mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.

Christian Leibetseder, Dipl.Ing. (FH) / Technischer Verkauf, Fachbereich Spezialgase
4651 Stadl-Paura, Waschenbergerstraße 13
Telefon +43.(0)664.80.4273-1438, Fax +43.(0)50.4273-701438
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