Schwefelhexafluorid 5.0     Reinheit, %: > 99,999         Download: Produktdatenblatt Download Sicherheitsdatenblatt Download     Angebot:  Angebot anfordern     Nebenbestandteile Schwefelhexafluorid 5.0, ppm: H2O 1 O2 + N2 5 CF4 5 Säure 0,1** Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen Empfohlene Armaturen: auf Anfrage Lieferarten Schwefelhexafluorid 5.0 Rauminhalt, Liter Dampfdruck bei 20°C, bar  Füllmenge, kg   Aluminiumflasche 2   21,0  1,5  Aluminiumflasche 10   21,0  10  Aluminiumflasche 40   21,0  30  Stahlflasche 50   21,0  50  Lieferhinweise: ** Massenanteile Umrechnungszahlen Schwefelhexafluorid m³ Gas (15 °C, 1 bar) Liter flüssig bei Ts kg 1 3,234 6,176 0,309 1 1,91 0,162 0,524 1 Kennzeichnung Schwefelhexafluorid 5.0 Flaschenschulter: Leuchtendes Grün RAL 6018 Aufkleber: Schwefelhexafluorid 5.0 Ventilanschluss: W 21,80 x 1/14 nach DIN 477 Nr. 6 Eigenschaften Schwefelhexafluorid Unter Druck verflüssigtes Gas, erstickend    MAK-Wert: 1000 ppm Chemisches Zeichen: SF6 Molare Masse: 146.05 g/mol Kritische Temperatur: 318.69 K (45.54 °C) Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): 209.35 K (-63.8 °C) Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar): 5.106 Anwendungen Schwefelhexafluorid 5.0 Trockenätzen von Halbleitermaterialien und Metallen (z.B. Plasmaätzen von Si, SiO2) Ätzen von Si vor CVD-Abscheidung    Andere Lieferformen Schwefelhexafluorid  Schwefelhexafluorid 3.0  Schwefelhexafluorid 4.8  Schwefelhexafluorid 4.5 Gemische von Schwefelhexafluorid mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.

Christian Leibetseder, Dipl.Ing. (FH) / Technischer Verkauf, Fachbereich Spezialgase
4651 Stadl-Paura, Waschenbergerstraße 13
Telefon +43.(0)664.80.4273-1438, Fax +43.(0)50.4273-701438
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