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Argon 5.3
| Nebenbestandteile Argon 5.3, ppm: | | O2 |  | 1 | | N2 |  | 3 | | H2O |  | 2 | | KW |  | 0,1 |
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen |
m³ Gas (15 °C, 1 bar) | Liter flüssig bei Ts | kg | | 1 | 1,197 | 1,669 | | 0,835 | 1 | 1,394 | | 0,599 | 0,717 | 1 |
| Kennzeichnung Argon 5.3 | | Flaschenschulter: | Dunkelgrün RAL 6001 | | Aufkleber: | Argon 5.3
| Ventilanschluss:
| Fülldruck 200 bar: W 21,80 x 1/14 nach DIN 477 Nr. 6 Fülldruck 300 bar (Einzelflasche): W 30 x 2 nach DIN 477-5 Nr. 54
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| Anwendungen Argon 5.3 | Schutzgas für alle Vorgänge, die schon durch Spuren von reaktionsfähigen Gasen gestört werden:
- bei Aufdampf- und Diffusionsvorgängen in der Fertigung von Halbleitern und dünnen Schichten
- als Füllgas für Gasentladungs- und Glühlampen
- als Schutzgas beim Abfunken von Stählen und anderen metallischen Proben zur Aufnahme und Auswertung des Spektrums
- als Trägergas in der Gaschromatographie
- für Sonderzwecke in der Meßtechnik, Forschung, Entwicklung
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Gemische von Argon mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen. z.B. Premixe für Excimer-Laser; Betriebsgase für die ECD-Analytik (P5 / P10 - Gas ECD); Betriebsgase für Proportionalzählrohre (P10-Gas für Spektrometrie); Schweißschutzgase. |
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