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Trifluormethan 4.8

  

Reinheit, %:

> 99,998
  
  
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Nebenbestandteile Trifluormethan 4.8, ppm:
O2 + N25
CO1
CO210
andere hal. KW5
Säure0,1*
H2O1


Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen


Kontrollzertifikat

Jede Füllung wird mit einem Kontrollzertifikat ausgeliefert, in dem die Einhaltung der Grenzwerte für die Nebenbestandteile bestätigt ist.



Empfohlene Armaturen:
auf Anfrage

Lieferarten Trifluormethan 4.8



Rauminhalt, Liter

Dampfdruck bei 20°C, bar 

Füllmenge, kg
 
Stahlflasche 2   41,6  1,5 
Stahlflasche 10   41,6 
Stahlflasche 50   41,6  40 

Lieferhinweise:

* Massenanteile


Umrechnungszahlen Trifluormethan
m³ Gas
(15 °C, 1 bar)
Liter
flüssig bei Ts
kg
12,0492,949
0,48811,439
0,3390,6951



Kennzeichnung Trifluormethan 4.8
Flaschenschulter: Leuchtendes Grün RAL 6018
Aufkleber: Trifluormethan 4.8
Ventilanschluss:
W 21,80 x 1/14 nach DIN 477 Nr. 6


Eigenschaften Trifluormethan
Unter Druck verflüssigtes Gas, erstickend

  
MAK-Wert:nicht festgelegt
Chemisches Zeichen:CHF3
Molare Masse:

70.010 g/mol

Kritische Temperatur:299.15 K (26 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts):190.97 K (-82.18 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar): 2.438

Anwendungen Trifluormethan 4.8
Trockenätzen von Halbleitermaterialien und Metallen (z.B. Plasmaätzen von SiO2, Si3N4).

  
Andere Lieferformen Trifluormethan
 Trifluormethan 3.5 Trifluormethan 2.8
 Trifluormethan 5.0


Gemische von Trifluormethan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.



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Kontakt

Andreas Hirmann / Leitung Werksverkauf u. Gas & More
2492 Eggendorf, Carl von Linde-Gasse 1
Telefon +43.(0)664.80.4273-3422, Fax +43.(0)50.4273-3409
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