Dichlorsilan 2.0     Reinheit, %: > 99 spez. Widerstand > 50 Ohmcm         Download: Produktdatenblatt Download Sicherheitsdatenblatt Download     Angebot:  Angebot anfordern     Nebenbestandteile Dichlorsilan 2.0, ppm: andere Chlorsilane 1 %* C 5 ppm* Fe 50 ppb* B 0,5 ppb* P 0,5 ppb* As 0,5 ppb* Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen Empfohlene Armaturen: auf Anfrage Lieferarten Dichlorsilan 2.0 Rauminhalt, Liter Dampfdruck bei 20°C, bar  Füllmenge, kg   Stahlflasche 2   1,6  1,5  Stahlflasche 10   1,6  9  Stahlflasche 50   1,6  45  Lieferhinweise: * Massenanteile Umrechnungszahlen Dichlorsilan m³ Gas (15 °C, 1 bar) Liter flüssig bei Ts kg 1 3,487 4,397 0,287 1 1,261 0,227 0,793 1 Kennzeichnung Dichlorsilan 2.0 Flaschenschulter: Gelb RAL 1018 Aufkleber: Dichlorsilan 2.0 Ventilanschluss: 1 LH nach DIN 477 Nr. 5 Eigenschaften Dichlorsilan Unter Druck verflüssigtes Gas, hochentzündlich, ätzend, giftig      MAK-Wert: 5 ppm (TLV) Chemisches Zeichen: SiH2Cl2 Molare Masse: 101.01 g/mol Kritische Temperatur: 449.45 K (176.3 °C) Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): 281.55 K (8.4 °C) Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar): 3.630 Anwendungen Dichlorsilan 2.0 Siliciumabscheidung in CVD-Prozessen (z.B. Epitaxie).   Andere Lieferformen Dichlorsilan  Dichlorsilan 3.0 Gemische von Dichlorsilan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.

Christian Leibetseder, Dipl.Ing. (FH) / Technischer Verkauf, Fachbereich Spezialgase
4651 Stadl-Paura, Waschenbergerstraße 13
Telefon +43.(0)664.80.4273-1438, Fax +43.(0)50.4273-701438
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