Silan 5.0


	Reinheit, %:	> 99,999 spez. Widerstand > 2000 Ohmcm


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Nebenbestandteile Silan 5.0, ppm:
H₂O		1
O₂		1
N₂		3
CO + CO₂		1
KW		0,5
Chlorsilane		0,5
H₂		50
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen

Empfohlene Armaturen:

auf Anfrage

Lieferarten Silan 5.0
	Rauminhalt, Liter	Fülldruck, ca. bar	Füllmenge, kg
Stahlflasche	2	48	0,2
Stahlflasche	10	48	1
Stahlflasche	50	100	16
Stahlflasche	50	100	16
Stahlflasche	50	48	5
Lieferhinweise:	abweichende Behältermaterialien (Aluminium-Legierung oder Edelstahl) und Füllmengen auf Anfrage lieferbar

Umrechnungszahlen Silan

m³ Gas (15 °C, 1 bar)	Liter flüssig bei T_s	kg
1	2,428	1,35
0,412	1	0,556
0,741	1,799	1

Kennzeichnung Silan 5.0
Flaschenschulter:	Rot RAL 3000
Aufkleber:	Silan 5.0
Ventilanschluss:	W 21,80 x 1/14 LH nach DIN 477 Nr. 1

Eigenschaften Silan
Verdichtetes Gas, hochentzündlich, selbstentzündlich an der Luft
MAK-Wert:	5 ppm (TLV)
Chemisches Zeichen:	SiH₄
Molare Masse:	32.118 g/mol
Kritische Temperatur:	269.65 K (-3.5 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (T_s):	161.75 K (-111.4 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):	1.120

Anwendungen Silan 5.0

Abscheidung von kristallinen Silicium-Schichten (Epitaxie)
CVD von Siliciumoxid- und Siliciumnitrid-Schichten
Abscheidung von polykristallinem und amorphem Silicium (CVD)

Andere Lieferformen Silan
Silan 4.0

Gemische von Silan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.

Kontakt

Christian Leibetseder, Dipl.Ing. (FH) / Technischer Verkauf, Fachbereich Spezialgase
4651 Stadl-Paura, Waschenbergerstraße 13
Telefon +43.(0)664.80.4273-1438, Fax +43.(0)50.4273-701438
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