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 Reingase
 Allgemeine Definitionen
 Farbkennzeichung Gasflaschen


Stickstofftrifluorid 4.5

  

Reinheit, %:

> 99,995
  
  
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Nebenbestandteile Stickstofftrifluorid 4.5, vpm (in der Gasphase):
H2O5
O23
N23
CO21
CF420
N2O1
SF61
CO0,5


Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen


Empfohlene Armaturen:
auf Anfrage

Lieferarten Stickstofftrifluorid 4.5



Rauminhalt, Liter

Fülldruck, ca. bar 

Füllmenge, kg
 
Kleinstahlflasche 2   41  0,3 
Kleinstahlflasche 10   41  1,5 
Kleinstahlflasche 50   97  22,7 
Kleinstahlflasche 50   23 


Umrechnungszahlen Stickstofftrifluorid
m³ Gas
(15 °C, 1 bar)
Liter
flüssig bei Ts
kg
11,9222,96
0,5211,54
0,3380,6491



Kennzeichnung Stickstofftrifluorid 4.5
Flaschenschulter: Blau RAL 5010
Aufkleber: Stickstofftrifluorid 4.5
Ventilanschluss:
1 nach DIN 477 Nr. 8


Eigenschaften Stickstofftrifluorid
Verdichtetes Gas, Verdichtetes Gas, brandfördernd

  brandfördernd 
MAK-Wert:10 ppm (TLV)
Chemisches Zeichen:NF3
Molare Masse:

71.002 g/mol

Kritische Temperatur:233.89 K (-39.26 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts):144.15 K (-129 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar): 2.446

Anwendungen Stickstofftrifluorid 4.5
  • Trockenätzen von Halbleitermaterialien (z.B. Plasmaätzen von Silicium)
  • Reinigen von Prozess-Reaktoren

 
Andere Lieferformen Stickstofftrifluorid
 Stickstofftrifluorid 4.0


Gemische von Stickstofftrifluorid mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.



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Kontakt

Christian Leibetseder, Dipl.Ing. (FH) / Technischer Verkauf, Fachbereich Spezialgase
4651 Stadl-Paura, Waschenbergerstraße 13
Telefon +43.(0)664.80.4273-1438, Fax +43.(0)50.4273-701438
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