Dichlorsilan 3.0
| Nebenbestandteile Dichlorsilan 3.0, ppm: | | andere Chlorsilane |  | 0,1 %* | | C |  | 1 ppm* | | Fe |  | 25 ppb* | | B |  | 0,1 ppb* | | P |  | 0,2 ppb* | | As |  | 0,3 ppb* |
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen |
| Umrechnungszahlen Dichlorsilan |
m³ Gas (15 °C, 1 bar) | Liter flüssig bei Ts | kg | | 1 | 3,487 | 4,397 | | 0,287 | 1 | 1,261 | | 0,227 | 0,793 | 1 |
| Kennzeichnung Dichlorsilan 3.0 | | Flaschenschulter: | Gelb RAL 1018 | | Aufkleber: | Dichlorsilan 3.0
| Ventilanschluss:
| 1 LH nach DIN 477 Nr. 5
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| Anwendungen Dichlorsilan 3.0 | | Siliciumabscheidung in CVD-Prozessen (z.B. Epitaxie). |
Gemische von Dichlorsilan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.
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KontaktChristian Leibetseder, Dipl.Ing. (FH) / Technischer Verkauf, Fachbereich Spezialgase 4651 Stadl-Paura, Waschenbergerstraße 13 Telefon +43.(0)664.80.4273-1438, Fax +43.(0)50.4273-701438
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