Hexafluorethan 5.0 (R 116)     Reinheit, %: > 99,999         Download: Produktdatenblatt Download Sicherheitsdatenblatt Download     Angebot:  Angebot anfordern     Nebenbestandteile Hexafluorethan 5.0 (R 116), ppm: H2O 1 O2 + N2 5 CO 1 CO2 1 andere hal. KW 5 Säure 0,1* Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen Empfohlene Armaturen: auf Anfrage Lieferarten Hexafluorethan 5.0 (R 116) Rauminhalt, Liter Fülldruck, ca. bar  Füllmenge, kg   Aluminiumflasche 2   33**  1,5  Aluminiumflasche 10   33**  10  Aluminiumflasche 40   33**  30  Stahlflasche 50   33**  50  Lieferhinweise: * Massenanteile ** der Fülldruck ist stark abhängig von der Temperatur Umrechnungszahlen Hexafluorethan m³ Gas (15 °C, 1 bar) Liter flüssig bei Ts kg 1 3,625 5,829 0,276 1 1,608 0,172 0,622 1 Kennzeichnung Hexafluorethan 5.0 (R 116) Flaschenschulter: Leuchtendes Grün RAL 6018 Aufkleber: Hexafluorethan 5.0 Ventilanschluss: W 21,80 x 1/14 nach DIN 477 Nr. 6 Eigenschaften Hexafluorethan Verdichtetes Gas, erstickend    MAK-Wert: nicht festgelegt Chemisches Zeichen: C2F6 Molare Masse: 138.01 g/mol Kritische Temperatur: 292.85 K (19.7 °C) Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): 194.95 K (-78.2 °C) Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar): 4.817 Anwendungen Hexafluorethan 5.0 (R 116) Trockenätzen von Halbleitermaterialien und Metallen (z.B. Plasmaätzen von SiO2, Si3N4, Ti) Reinigen von CVD-Kammern   Andere Lieferformen Hexafluorethan  Hexafluorethan 2.8 (R 116)  Hexafluorethan 3.5 (R 116) Gemische von Hexafluorethan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.

Christian Leibetseder, Dipl.Ing. (FH) / Technischer Verkauf, Fachbereich Spezialgase
4651 Stadl-Paura, Waschenbergerstraße 13
Telefon +43.(0)664.80.4273-1438, Fax +43.(0)50.4273-701438
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