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Arsin 5.0

  

Reinheit, %:

> 99,999
  
  
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Nebenbestandteile Arsin 5.0, ppm:
O21
N23
H2O2
KW1
CO1
CO21
PH30,1


Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen


Empfohlene Armaturen:
auf Anfrage

Lieferarten Arsin 5.0



Rauminhalt, Liter

Dampfdruck bei 20°C, bar 

Füllmenge, kg
 
Stahlflasche 2   15  0,3 
Stahlflasche 10   15 

Lieferhinweise:

vom Standard abweichende Behälter sowie Behälter für Gemische auf Anfrage lieferbar


Umrechnungszahlen Arsin
m³ Gas
(15 °C, 1 bar)
Liter
flüssig bei Ts
kg
11,9913,253
0,50211,634
0,3070,6121



Kennzeichnung Arsin 5.0
Flaschenschulter: Gelb RAL 1018
Aufkleber: Arsin 5.0
Ventilanschluss:
W 21,80 x 1/14 LH nach DIN 477 Nr. 1


Eigenschaften Arsin
Unter Druck verflüssigtes Gas, hochentzündlich, umweltgefährlich, sehr giftig

 hochentzündlich umweltgefährlich sehr 
MAK-Wert:0,05 ppm (TLV)
Chemisches Zeichen:AsH3
Molare Masse:

77.950 g/mol

Kritische Temperatur:373.05 K (99.9 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts):210.67 K (-62.48 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar): 2.688

Anwendungen Arsin 5.0
Dotierung von Silicium durch Epitaxie, Diffusion oder Ionenimplantation. Dazu werden bevorzugt Gemische mit H2, Ar, He oder N2 verwendet (Dotiergasgemische).

Andere Lieferformen Arsin


Gemische von Arsin mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.



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Kontakt

Christian Leibetseder, Dipl.Ing. (FH) / Technischer Verkauf, Fachbereich Spezialgase
4651 Stadl-Paura, Waschenbergerstraße 13
Telefon +43.(0)664.80.4273-1438, Fax +43.(0)50.4273-701438
Mail Mail

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