Arsin 5.0
| Nebenbestandteile Arsin 5.0, ppm: | | O2 |  | 1 | | N2 |  | 3 | | H2O |  | 2 | | KW |  | 1 | | CO |  | 1 | | CO2 |  | 1 | | PH3 |  | 0,1 |
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen |
| Lieferarten Arsin 5.0 |
| Rauminhalt, Liter | Dampfdruck bei 20°C, bar | Füllmenge, kg | | Lieferhinweise: | vom Standard abweichende Behälter sowie Behälter für Gemische auf Anfrage lieferbar |
m³ Gas (15 °C, 1 bar) | Liter flüssig bei Ts | kg | | 1 | 1,991 | 3,253 | | 0,502 | 1 | 1,634 | | 0,307 | 0,612 | 1 |
| Kennzeichnung Arsin 5.0 | | Flaschenschulter: | Gelb RAL 1018 | | Aufkleber: | Arsin 5.0
| Ventilanschluss:
| W 21,80 x 1/14 LH nach DIN 477 Nr. 1
|
| Anwendungen Arsin 5.0 | | Dotierung von Silicium durch Epitaxie, Diffusion oder Ionenimplantation. Dazu werden bevorzugt Gemische mit H2, Ar, He oder N2 verwendet (Dotiergasgemische). |
| Andere Lieferformen Arsin |
Gemische von Arsin mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.
|
|  |
 |
KontaktChristian Leibetseder, Dipl.Ing. (FH) / Technischer Verkauf, Fachbereich Spezialgase 4651 Stadl-Paura, Waschenbergerstraße 13 Telefon +43.(0)664.80.4273-1438, Fax +43.(0)50.4273-701438
Mail |