Bortrichlorid 4.0     Reinheit, %: > 99,99         Download: Produktdatenblatt Download Sicherheitsdatenblatt Download     Angebot:  Angebot anfordern     Nebenbestandteile Bortrichlorid 4.0, ppm: O2 5 N2 50 CO 5 CO2 50 KW 5 Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen Empfohlene Armaturen: auf Anfrage Lieferarten Bortrichlorid 4.0 Rauminhalt, Liter Dampfdruck bei 20°C, bar  Füllmenge, kg   Stahlflasche 2   1,6  2  Stahlflasche 10   1,6  10  Stahlflasche 50   1,6  50  Umrechnungszahlen Bortrichlorid m³ Gas (15 °C, 1 bar) Liter flüssig bei Ts kg 1 3,65 4,913 0,274 1 1,346 0,204 0,743 1 Kennzeichnung Bortrichlorid 4.0 Flaschenschulter: Gelb RAL 1018 Aufkleber: Bortrichlorid 4.0 Ventilanschluss: 1 nach DIN 477 Nr. 8 Eigenschaften Bortrichlorid Unter Druck verflüssigtes Gas, sehr giftig, ätzend     MAK-Wert: nicht festgelegt Chemisches Zeichen: BCl3 Molare Masse: 117. 2 g/mol Kritische Temperatur: 451.95 K (178.8 °C) Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): 285.65 K (12.5 °C) Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar): 4.062 Anwendungen Bortrichlorid 4.0 Trockenätzen von Halbleitermaterialien und Metallen (z.B. Plasmaätzen von Al, Si) Dotierung von Silicium und Germanium durch Epitaxie, Diffusion oder Ionenimplantation   Andere Lieferformen Bortrichlorid  Bortrichlorid 2.8  Bortrichlorid 5.0 Gemische von Bortrichlorid mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.

Christian Leibetseder, Dipl.Ing. (FH) / Technischer Verkauf, Fachbereich Spezialgase
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