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Dichlorsilan 3.0

  

Reinheit, %:

> 99,9 spez. Widerstand > 150 Ohmcm
  
  
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Nebenbestandteile Dichlorsilan 3.0, ppm:
andere Chlorsilane0,1 %*
C1 ppm*
Fe25 ppb*
B0,1 ppb*
P0,2 ppb*
As0,3 ppb*


Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen


Empfohlene Armaturen:
auf Anfrage

Lieferarten Dichlorsilan 3.0



Rauminhalt, Liter

Dampfdruck bei 20°C, bar 

Füllmenge, kg
 
Stahlflasche 2   1,6  1,5 
Edelstahlflasche 10   1,6 
Edelstahlflasche 47   1,6  42 

Lieferhinweise:

* Massenanteile


Umrechnungszahlen Dichlorsilan
m³ Gas
(15 °C, 1 bar)
Liter
flüssig bei Ts
kg
13,4874,397
0,28711,261
0,2270,7931



Kennzeichnung Dichlorsilan 3.0
Flaschenschulter: Gelb RAL 1018
Aufkleber: Dichlorsilan 3.0
Ventilanschluss:
1 LH nach DIN 477 Nr. 5


Eigenschaften Dichlorsilan
Unter Druck verflüssigtes Gas, hochentzündlich, ätzend, giftig

 hochentzündlich ätzend giftig 
MAK-Wert:5 ppm (TLV)
Chemisches Zeichen:SiH2Cl2
Molare Masse:

101.01 g/mol

Kritische Temperatur:449.45 K (176.3 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts):281.55 K (8.4 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar): 3.630

Anwendungen Dichlorsilan 3.0
Siliciumabscheidung in CVD-Prozessen (z.B. Epitaxie).

 
Andere Lieferformen Dichlorsilan
 Dichlorsilan 2.0


Gemische von Dichlorsilan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.



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Kontakt

Christian Leibetseder, Dipl.Ing. (FH) / Technischer Verkauf, Fachbereich Spezialgase
4651 Stadl-Paura, Waschenbergerstraße 13
Telefon +43.(0)664.80.4273-1438, Fax +43.(0)50.4273-701438
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