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Disilan 4.8

  

Reinheit, %:

> 99,998
  
  
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Nebenbestandteile Disilan 4.8, ppm:
H2O1
O21
N24
Chlorsilane0,2
CO21
KW1


Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen


Empfohlene Armaturen:
auf Anfrage

Lieferarten Disilan 4.8



Rauminhalt, Liter

Dampfdruck bei 20°C, bar 

Füllmenge, kg
 
Stahlflasche 2   2,3  0,1 
Stahlflasche 10   2,3  0,5 


Umrechnungszahlen Disilan
m³ Gas
(15 °C, 1 bar)
Liter
flüssig bei Ts
kg
12,9572,664
0,33810,901
0,3751,111



Kennzeichnung Disilan 4.8
Flaschenschulter: Rot RAL 3000
Aufkleber: Disilan 4.8
Ventilanschluss:
W 21,80 x 1/14 LH nach DIN 477 Nr. 1


Eigenschaften Disilan
Unter Druck verflüssigtes Gas, hochentzündlich, selbstentzündlich an der Luft

 hochentzündlich  
MAK-Wert:nicht festgelegt
Chemisches Zeichen:Si2H6
Molare Masse:

62.220 g/mol

Kritische Temperatur:424 K (150.85 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts):258.85 K (-14.3 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar): 2.200

Anwendungen Disilan 4.8
  • Abscheidung von kristallinen Silicium-Schichten (Epitaxie)
  • Niedertemperatur-CVD

Andere Lieferformen Disilan


Gemische von Disilan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.



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Kontakt

Christian Leibetseder, Dipl.Ing. (FH) / Technischer Verkauf, Fachbereich Spezialgase
4651 Stadl-Paura, Waschenbergerstraße 13
Telefon +43.(0)664.80.4273-1438, Fax +43.(0)50.4273-701438
Mail Mail

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