Siliciumtetrafluorid 4.8     Reinheit, %: > 99,998         Download: Produktdatenblatt Download Sicherheitsdatenblatt Download     Angebot:  Angebot anfordern     Nebenbestandteile Siliciumtetrafluorid 4.8, vpm (in der Gasphase): O2 3 N2 3 CO 3 CO2 3 CH4 10 Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen Empfohlene Armaturen: auf Anfrage Lieferarten Siliciumtetrafluorid 4.8 Rauminhalt, Liter Fülldruck, ca. bar  Füllmenge, kg   Stahlflasche 2   18  0,2  Stahlflasche 10   18  1  Stahlflasche 50   63  22,7  Stahlflasche 50   18  5  Umrechnungszahlen Siliciumtetrafluorid m³ Gas (15 °C, 1 bar) Liter flüssig bei Ts kg 1 2,643 4,388 0,378 1 1,66 0,228 0,602 1 Kennzeichnung Siliciumtetrafluorid 4.8 Flaschenschulter: Gelb RAL 1018 Aufkleber: Siliciumtetrafluorid 4.8 Ventilanschluss: 1 DIN 477 Nr. 8 Eigenschaften Siliciumtetrafluorid Verdichtetes Gas, ätzend, giftig     MAK-Wert: 0,8 ppm (TLV) Chemisches Zeichen: SiF4 Molare Masse: 104.08 g/mol Kritische Temperatur: 259 K (-14.15 °C) Sublimationstemperatur bei 1,013 bar: 177.95 K (-95.2 °C) Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar): 3.626 Anwendungen Siliciumtetrafluorid 4.8 Abscheiden von fluoriertem Siliciumoxid Ionenimplantation Trockenätzen von Halbleitermaterialien Andere Lieferformen Siliciumtetrafluorid Gemische von Siliciumtetrafluorid mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.

Christian Leibetseder, Dipl.Ing. (FH) / Technischer Verkauf, Fachbereich Spezialgase
4651 Stadl-Paura, Waschenbergerstraße 13
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