KomponentenKomplette Versorgungssysteme für Spezialgase bestehen in der Regel aus den nachfolgend aufgeführten Komponenten:
- Gasflaschenschränke mit Druckmindererstationen (1. Druckstufe)
- Rohrleitungen
- Absperr-, Regel- und Sicherheitsarmaturen
- Entnahmestellen (2. Druckstufe)
Je nach Anwendung und Kundenwunsch können zusätzlich weitere Komponenten integriert werden:
- Prozeß- und Spülgastableaus
- Partikelfilter
- Gasnachreinigungssysteme
- Gasmischsysteme
- Gasverdünnungssysteme
- Meß- und Überwachungssysteme für
- Vordruck, Hinterdruck
- Massenstrom
- Gasreinheit
- Partikelgehalt
- Arbeitsplatz (Ex, MAK)
- Abgasreinigung
- Signal- und Steuersysteme zur Notabschaltung der Gasversorgung bei sicherheitsrelevanten Störungen
- Meß- und Regelsysteme für Druck, Volumen- und Massenstrom
- Speicherprogrammierbare Steuerungen (SPS) für automatische Gasflaschenschränke und Sonderanlagen
- Monitoringsysteme zur kontinuierlichen Qualitätsüberwachung und Dokumentation
- PC-gestützte Gasmanagementsysteme.
Komponenten - Komponenten
| Ausführung der Komponenten in Spezialgase-Versorgungssystemen |
| Gasreinheit |
Klasse 5.0 |
Klasse 6.0 |
Klasse 6.0 und höher sowie Halbleiter-prozeßgase |
| Druckminderer |
Werkstoff Messing oder Edelstahl spezialgereinigt,
He-Leckrate< 10-7 mbar l/s, Membran aus Elastomer oder metallischem Werkstoff |
Werkstoff vorwiegend Edelstahl spezialgereinigt, He-Leckrate< 10-9 mbar l/s, Membran aus Edelstahl |
Werkstoff Edelstahl elektropoliert, hohe Oberflächengüte,
He-Leckrate< 10-9 mbar l/s, Membran aus Edelstahl, minimierter Totraum, buntmetallfrei, im Reinraum montiert, geringste Partikelemission |
| Ventile |
Membranabdichtung, selten Stopfbuchspackung oder
O-Ring-Dichtung |
Membranabdichtung Faltenbalgabdichtung |
Membranabdichtung, Faltenbalgabdichtung, elektropoliert, minimierter Totraum |
|
Werkstoff Kupfer oder Edelstahl spezialgereinigt |
Werkstoff Edelstahl spezialgereinigt oder elektropoliert |
Werkstoff Edelstahl elektropoliert |
Rohrver-
bindungen |
flußmittelfrei hartgelötet orbitalgeschweißt |
orbitalgeschweißt |
orbitalgeschweißt |
| Lösbare Verbindungen |
metallisch dichtende Klemmringverschraubungen |
metallisch dichtende Klemmringverschraubungen
metallisch dichtende VCR-Verschraubungen |
metallisch dichtende VCR-Verschraubungen |
Anwendungs-
beispiele |
Gasversorgung für allgemeinen Laborbedarf, von Gasanalysatoren, Produktionsanlagen mit hochwertigen Betriebsgasen, z.B. CO2-Lasern, zur Lampenherstellung, Erzeugung von Spezialkeramik und Sondermetallen |
Gasversorgung für Laborbedarf mit hohen Gasreinheiten, von Gasanalysatoren mit Prüfgasen im ppm-Bereich und/oder korrosiven Beimengungen, von Produktionsanlagen mit Gasen und Gasgemischen höchster Reinheit, z.B. Excimer-Lasern, zur Herstellung von Lichtwellenleitern, von diskreten Bauelementen und weniger hochintegrierten Schaltkreisen. |
Gasversorgung für
F + E mit extremen Gasreinheiten, z.B. in der Mikroelektronik, von Produktions-anlagen mit Gasen und Gasgemischen extremer Reinheit sowie mit korrosiven und toxischen Prozeßgasen, z.B. für höchstintegrierte Schaltkreise, Sensoren, Solarzellen |
 |
KontaktChristian Ameshofer / Leitung Engineering
4651 Stadl-Paura, Waschenbergerstr. 13
Telefon +43.(0)50.4273-1361, Fax +43.(0)50.4273-701361
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